高溫*納米壓痕測試儀 (UNHT3 HTV)
儀器簡介：
高溫納米壓痕測試儀是測量小載荷下納米尺度機械性能的測試系統，溫度在 800 °C 以下的薄膜和涂層的硬度和彈性模量。專 利 UNHT 技術與獨特的加熱功能結合，可提供在任何溫度下的高穩定性測量解決方案。
主要特點：
●環境條件下低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內低熱漂移 (< 3 nm/min)。
●高載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合，可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。
●高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統，允許在測量期間關閉初級泵，使振動降至*低。
●獨特的加熱控制系統（3 項專 利待批），采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱，以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內。
●符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 **標準
技術指標：
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載荷 |
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*大載荷 |
100 mN |
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載荷分辨率 |
6 nN |
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本底噪音 |
0.5 [rms] [μN]* |
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位移 |
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*大位移 |
100 μm |
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位移分辨率 |
0.003 nm |
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本底噪音 |
0.15 [rms] [nm]* |
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*限真空度 |
10? mBar |
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*高溫度 |
800 °C |
***實驗室條件下規定的本底噪音值，并使用減震臺。
